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製品の詳細
製品紹介：
カラーレーザー共焦点技術を用いて、材料表面のミクロン、サブミクロン級の粗さ検出を実現でき、しかも2 D輪郭/3 Dミクロ形態スキャン分析を行うことができ、測定精度が高く、速度が速く、繰り返し性が良い利点がある。
このシステムは大サイズサンプルの測定に使用でき、ソフトウェア機能は点測定、線測定、面測定などの強大な機能を含み、オプションモジュールは2 D&3 D粗さ検出と分析、2 D輪郭測定と3 D形態解析、平面度検出、共平面度検出、平行度検出などを含む。
本システムの特徴：
一、駆動装置を採用する：直線磁軸モータ駆動
二、専門的な統合設計
三、豊富な三次元計測
四、多様な三次元観察
技術パラメータ
技術パラメータ：
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プローブA |
プローブB |
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さぎょうきょり |
11mm |
19mm |
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レンジ |
±190um |
±1700um |
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さいだいけいしゃかく |
±28° |
±21° |
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スポットサイズ |
10um |
20um |
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解像度 |
10nm |
40nm |
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せいど |
±0.02%F.S. |
±0.02%F.S. |
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さいしょうあつさそくてい |
12um |
66um |
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さいだいあつさそくてい |
511um |
5098um |
電動台パラメータ：
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XYプラットフォーム |
ドライブ |
ちょくせんじくモータ |
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プラットフォームのサイズ |
220X230mm |
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XY方向ストローク |
100X100mm |
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解像度 |
0.05μm |
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繰り返し位置決め精度 |
<1μm |
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最大許容荷重 |
2Kg |
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そうさそくど |
≤80mm/s |
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走査間隔 |
≥0.5μm |
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電気特性 |
コントローラ（専用パソコン）定格入力 |
100-240V AC 5.3A 50/60Hz |
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ドライバ（専用シャーシ）定格入力 |
48V DC 2.1A |
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センサ入力 |
24V DC 3A |
オンライン照会
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