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製品の詳細
電動変位台選択ガイド Feinixsシリーズ製品命名規則 変位制御の基本概念
FMSZ-Pシリーズ-圧電モーター昇降台
詳細仕様パラメータ
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超高精度垂直昇降台 |
詳細仕様パラメータ
| 画像 |  |
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| 製品分類 | 圧電モーター昇降台 | 圧電モーター昇降台 |
| 製品型番 | FMSZ115P-50 | FMSZ85P-20 |
| 外形寸法 | 115x115x110 | 85x85x85 |
| メサ寸法（mm） | 115x115 | 85x85 |
| 持続推力（N） | 40 | 20 |
| ピーク推力（N） | 40 | 20 |
| ストローク（mm） | 50 | 20 |
| 最大速度（mm/s） | 5 | 5 |
| 負荷（Kg） | 2 | 1 |
| 解像度（um） | 0.1 | 0.1 |
| 最小変位量（um） | 0.2 | 0.2 |
| 一方向繰り返し位置決め精度（um） | ±0.5 | ±0.5 |
| 双方向繰り返し位置決め精度（um） | ±1 | ±1 |
| 位置決め精度（um） | ±2 | ±2 |
| 直線度（um） | 5 | 5 |
| 平行度（um） | 5 | 5 |
| ヨー（”） | 10 | 10 |
| ピッチ（”） | 10 | 10 |
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