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製品の詳細
電動変位台選択ガイド Feinixsシリーズ製品命名規則 変位制御の基本概念
FMSZシリーズ-ステッピングモータ昇降台
詳細仕様パラメータ
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（1）格子定規閉ループ、大荷重、高精度 |
| 画像 |  |
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| 製品分類 | ステップ昇降台 | ステップ昇降台 |
| 製品型番 | FMSZ115-30 | FMSZ85-20 |
| 外形寸法 | 115x115x140 | 85x85x85 |
| メサ寸法（mm） | 115x115 | 85x85 |
| ラスタゲージ | \ | \ |
| ストローク（mm） | 30 | 20 |
| 最大速度（mm/s） | 5 | 10 |
| 負荷（Kg） | 5 | 1 |
| 解像度（um） | 0.625 | 0.625 |
| 最小変位量（um） | 2 | 2 |
| 一方向繰り返し位置決め精度（um） | ±1 | ±1 |
| 双方向繰り返し位置決め精度（um） | ±2.5 | ±2.5 |
| 位置決め精度（um） | ±10 | ±10 |
| 直線度（um） | 10 | 10 |
| 平行度（um） | 10 | 10 |
| ヨー（”） | 20 | 20 |
| ピッチ（”） | 20 | 20 |
詳細仕様パラメータ
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