半導体産業などの多くの超純ガス用途において、ガス中の残留湿気はプロセス処理の正常な動作に重要である。従来、湿気の継続的な追跡測定は難点であり、複雑な湿度分析器や高価な分析技術を使用する必要があった。しかし、ミルメータは現在、露点値をオンラインで測定するための簡単で経済的でかなり有効な方案を市場に打ち出しており、下限は驚くほど低い−120°C（1 ppb未満に相当V)。 Puraトランスミッタは、ミセル計器の長年のインピーダンス露点センサ生産と検査の専門経験に基づいて、標準工業化された材料と製造プロセスを結合して、半導体製造業界と超純ガス応用に適した初の低価格帯トランスミッタを製造した。 ハイライト 測定下限-120°C露点（1 ppbV) 測定が安定しており、再現性が良い 高度に統合されたサンプリング装置 アナログ出力とデジタル出力 セットアップが簡単 VCRプロセスインタフェース コンパクトでコンパクトなデザイン 表示/アラームユニットオプション
技術指標
センサー センサタイプ ミセルセラミック湿度センサ レンジ −120〜−40°C露点（−100〜−40°Cまで検証） せいど ±1°C -40〜-60°C; ±2°C -61〜-100°C; ±4°C-101 ~-120°C（推定値） 解像度 0.1°C -40〜-79.9°C; 1°C -80〜-100°C; 1〜3°C -100〜-120°C ストレス 最低10-9 torr、最大24 MPa ガス流量 1〜5 Nl/min 電気 電源 通常24 V DC、最低10 V ~最高28 V、最大電流25 mA 出力 4-20 mA出力、対応範囲は専用ソフトウェアで調整でき、調整レンジは1～80°C（標準装備提供） 最大負荷＝100Ω＋50Ωx（V電源-8） 出力エラー状態 標準出力エラー情報は以下の通り：23 mA＝センサ故障、20 mA=超上限、4 mA=超下限 きかいてきせいのう センサスリーブ ステンレス鋼、0.1-0.2 Raµmめっき内部研磨 ガス回路接続ポート PremiumまたはOEMタイプ：188'm VCRインタフェース Pura Sensorタイプ：½'m VCRインタフェース インストール構成 PremiumまたはOEM型：120.00 mm長、ガス路ポートの端面シール.配管の隙間を確保する必要がない 台座にはM 4 x 0.7、7 mm深さの取付穴が2つあり、斜面の横縦ピッチはいずれも20 x 20 mmである Pura Sensorタイプ：ユーザーが提供する189'VCRポートに適用 サイズ プレミアムまたはOEMタイプ：120 x 35 x 150 mm Pura センサー型:132×35mm 重量 プレミアムまたはOEMタイプ：450 g Pura センサー型:180グラム 包装 Pura：二重包装、不活性ガス充填シール Pura OEMまたはPura Sensor型：単層包装 すべてのオプション：個別包装輸送 センサー型はセンサーチップ端に保護カバーを持参し、輸送と操作のために使用する