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製品の詳細
IR−400は蒸着中にチャンバ清をリアルタイムで監視することができる洗浄終点。洗浄プロセスを最適化することで、IR-400は洗浄時間とガス使用量を削減した。洗浄ガスの使用量が減少するとチャンバへのダメージが低下し、すべてのシステム部品の寿命が増加する
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