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製品の詳細
- 蒸気圧監視機能は標準配置として、母タンクの交換中にパージ効率を検査することができる
- 計量センサを選択的に配置し、メスタンク中の残留液体の総量を監視することができる
- LU-A 1000シリーズはコンパクトに設計されており、統合ガスシステムを採用しているため、従来の部品に比べて大幅にサイズを小さくすることができます
- 日常的なメンテナンス時に部品を簡単に交換
- 脱気器モジュールは標準的な配置であり、液体のバブリングリスクを低減でき、注入と焼成応用を含む各種気化システムに適用できる
- 安全基準：SEMI S 2/S 8/S 14、CEフラグ
- 安全改善：多様な監視装置は全自動制御を提供する。LU-A 1000シリーズには、システムに障害が発生すると起動する自動非常停止機能が搭載されています
- 操作性の改善：操作手順を全自動化し、操作ミスを防止する。操作はデバイス先端のタッチパネルで制御することもできます
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