◆試料保持不動、プローブ移動走査を実現する商業化原子間力顕微鏡、

◆サンプルのサイズ、重量はほとんど制限されず、特に超大型のサンプル検査に適している。

◆サンプル台は拡張性が高く、多機器接続に非常に便利その場検出を実現するために、

◆電動制御サンプル移動台と昇降台は、多点位置を任意にプログラムして高速自動化検査を実現することができる、

◆竜門架橋式走査ヘッド設計、大理石台座、真空吸着と磁気吸着式ステージ、
◆モータは加圧電気セラミックスの自動検出のインテリジェント針送り方式を自動的に制御し、プローブ及びサンプルを保護する、
◆高倍補助光学顕微鏡測位、リアルタイム観測と測位プローブ及びサンプル走査領域、

◆集積スキャナ非線形補正ユーザエディタ、ナノ特性化と測定精度が優れている98%

技術パラメータ